Close loop controller

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Close loop Controller(簡稱 CLC),應用於需精確控制的製程中.有分氣体及液体. 目前使用最廣泛的業界應屬於半導體業界.最主要的構件有 Sensor, Control Valve, PCB , Bypass,Pinch tube 等. 現行應用精度(Accuracy)的範圍大部份在 1% of Set point.(如最大流量 100 ml/min, 但製程流量設定在 10 ml/min時,流量的精度控制範圍在 9.9-10.1 ml/min.)反應時間(Response time)約在 1 sec - 4 sec 間(部分製程需延遲反應時間). 於半導體製程中 CVD,Dry-Etching,PVD,IMP 使用的為 Gas Mass Flow Controller.業界常見廠家有 Brooks,STEC,MKS. 而 Liquid CLC 則常見於 CMP,Wet-Etching,Photo 等製程,常見廠家有Malema, Toyko Keiso. 控制原理計有: 熱敏式(Thermos sensor)(Gas MFC: Brooks,STEC, MKS), 超音波(Ultrasonic sensor:Malema ,Toyko Keiso),科氏力(Coriolis Sensor:Malema)